Système à très haut vide pour l’évaporation du sélénium :
- Régime de pompage en deux phases pour vide total jusqu’à -10 torr
- Unité motrice pour le déplacement latéral de la cuve
- Système d’étanchéité de haute précision qui ne requiert aucun dispositif de serrage de la cuve contre la tête
- Réservoir muni d’une gaine de refroidissement pour le contrôle de la température du procédé
